کوانتومتر یکی دیگر از دستگاههای آنالیز عنصری می باشد و با استفاده از آن می توان مقدار عناصر در آلیاژهای فلزی را بدست آورد. این آنالیز یک آنالیز سطحی محسوب میشود، بر همین اساس سطح نمونه مورد آزمایش بایستی کاملا صیقل داده شده و عاری از هر گونه آلودگی باشد.
اصول کار این دستگاه بر پایه تخلیه الکتریکی بر روی سطح ماده و تجزیه و تحلیل نور گسیل شده از آن است. قوس الکتریکی ایجاد شده بر روی سطح آلیاژ، بخشی از سطح فلز را تبخیر میکند. به دلیل دمای بالای قوس الکتریکی، برانگیختگی در ترازهای اتمی عناصر موجود در بخار فلز ایجاد شده و بخشی از عناصر به یون تبدیل میشوند. با توجه به ناپایدار بودن حالت برانگیخته، الکترونها تمایل دارند به سطح انرژی پایدار، یعنی حالت پایه خود، برگردند که در حین برگشت به تراز پایینتر، اختلاف انرژی بین دو تراز را به صورت فوتون گسیل میکنند. با توجه به اینکه انرژی یا طول موج فوتون گسیل شده مشخصه عنصر می باشد با آشکارسازی آن میتوان عناصر موجود در نمونه را شناسایی نمود. با کالیبراسیون دستگاه توسط نمونه های استاندارد، مقدار عناصر موجود در نمونه نیز قابل تشخیص خواهد بود.